ASML德國(guó)工廠遭遇火災(zāi) EUV光刻機(jī)生產(chǎn)或受影響

全球半導(dǎo)體產(chǎn)能緊張持續(xù)一年了，芯片擴(kuò)產(chǎn)需要包括光刻機(jī)在內(nèi)的重要設(shè)備，結(jié)果前幾天全球最大光刻機(jī)巨頭ASML在德國(guó)的工廠遭遇火災(zāi)，官方表示還要幾天才能評(píng)估損失，但是現(xiàn)在可以確定主要是EUV光刻機(jī)生產(chǎn)會(huì)受影響。

ASML旗下的這家公司位于德國(guó)柏林，前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收購(gòu)了這家公司，它們的營(yíng)收額并不高，但生產(chǎn)的是光刻機(jī)中的一種重要部件，可以用于光刻機(jī)及晶圓之間的接口，需要有納米級(jí)別的操作精度，可以說是小而精了。

根據(jù)ASML的消息，雖然評(píng)估是否影響今年的光刻機(jī)交貨還有點(diǎn)早，但這次事件影響的主要是EUV光刻機(jī)生產(chǎn)，DUV光刻機(jī)不受影響。

EUV光刻機(jī)是生產(chǎn)7nm以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備，ASML是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，每臺(tái)售價(jià)1億歐元，將近10億人民幣，去年交付了35臺(tái)EUV光刻機(jī)，今年計(jì)劃交付55臺(tái)EUV光刻機(jī)，三星、臺(tái)積電及Intel是主要的客戶。