“超級針”X射線成像系統問世

近日，中國電科38所發布自主研制的新一代無損檢測設備——“超級針”X射線成像系統，這是全國首臺“超級針”X射線成像系統。該系統擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，成像分辨率小于1微米，相當于發絲的1%，可應用于集成電路、軍工航天、汽車電子、醫療診斷、文物保護等多個領域。

微焦點X射線成像系統是工業無損檢測的常規必備設備，廣泛應用于集成電路、電子器件等各種器材的無損檢測。中國電科38所“超級針”X射線成像系統采用獨特的“超級針”X射線源專利技術，可在圖像增強器上形成被掃描物體的透視圖像。該設備采用全國首創的“超級針”X射線源，因而以“超級針”冠名，具有成像清晰、性能穩定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優點，在硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的精密檢測方面優勢明顯，已申請國內外發明專利30余項。