全球最貴電子設(shè)備！ASML EUV光刻機(jī)價格19億元

19億元，這是如今全球最貴電子設(shè)備的價格，它就是全球最大的光刻機(jī)供應(yīng)商ASML先手的NA 0.55高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)的價格，而購買者則是大名鼎鼎的英特爾。

在當(dāng)前NA 0.33的EUV光刻機(jī)中，英特爾動作慢了，被臺積電、三星搶先，因此，在下一代NA 0.55的EUV光刻工藝中，英特爾不允許同樣的錯誤再次發(fā)生，這一次要搶先三星臺積電下單，也會搶先量產(chǎn)20A及18A工藝，首次進(jìn)入埃米級工藝節(jié)點(diǎn)。

基于此，4年來英特爾實(shí)際上已經(jīng)下單了6臺NA 0.55的EUV光刻機(jī)，其中分為兩種，Twinscan Exe:5000系列主要用于工藝研發(fā)，產(chǎn)能輸出是185WPH，每小時生產(chǎn)185片晶圓，2023年上半年交付。量產(chǎn)型的NA 0.55光刻機(jī)是Twinscan Exe:5200，產(chǎn)能提升到200WPH，每小時200片晶圓，預(yù)計會在2024年下線。