半導體芯片生產可以說是制造業的皇冠,而光刻機就是皇冠上的明珠,EUV光刻機則是明珠之光,其設計之復雜遠超一般工業設備。目前EUV光刻機只有荷蘭ASML公司能夠生產,Q3季度他們交付了7臺EUV光刻機,但獲得了23臺EUV光刻機訂單,每臺價格超過1億歐元。
ASML公司今天發布了2019年Q3季度財報,當季營收29.87億歐元,同比增長7.6%,運營利潤13.07億歐元,凈利潤6.27億歐元,與去年同期的6.8億歐元有所下滑,不過這主要是今年Q3季度的研發支出增加了25%。
今年Q3季度中,臺積電已經開始量產EUV工藝,所以ASML公司的EUV交付及訂單也創了記錄,當季交付了7臺EUV光刻機,同時獲得了23臺EUV光刻機的訂單量,創造了歷史最高水平,算上其他光刻機,ASML手握的訂單總額高達51億歐元。
ASML最新的EUV光刻機是NEX:3400C型號,已經達到了量產標準,Q3季度中交付的7臺EUV光刻機中有3臺是NEX:3400C,Q4季度中預計交付8臺EUV光刻機,總價值高達9.5億歐元,平均每臺價格達到了1.2億歐元,折合人民幣9.4億元,堪稱人類最昂貴的設備了。
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