EUV光刻機(jī)成香餑餑 第四代內(nèi)存來(lái)了

目前，EUV光刻機(jī)的部署安裝主要在臺(tái)積電、三星的晶圓代工廠。不過(guò)，內(nèi)存廠商們也開(kāi)始著手上馬了。

此前，SK海力士規(guī)劃的是為年底建成的M16工廠配備，但來(lái)自德國(guó)CB的消息稱，M14老廠也會(huì)引進(jìn)。

EUV光刻機(jī)參與的將是SK海力士的第四代(1a nm)內(nèi)存，在內(nèi)存業(yè)內(nèi)，目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a。

EUV光刻機(jī)的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產(chǎn)時(shí)間、降低成本，并提高性能。

當(dāng)然，EUV光刻機(jī)實(shí)在是香餑餑。唯一的制造商ASML(荷蘭阿斯麥)產(chǎn)能極有限，盡管一臺(tái)要10億元左右，可仍舊供不應(yīng)求。這一回新老工廠其上位，不知道SK海力士從ASML那里敲定了多少臺(tái)。

另外，本次報(bào)道稱，三星2021年將投產(chǎn)EUV工藝生產(chǎn)的內(nèi)存，也就是早些時(shí)候發(fā)布的16Gb容量LPDDR5。