半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)可以說是制造業(yè)的皇冠,而光刻機(jī)就是皇冠上的明珠,EUV光刻機(jī)則是明珠之光,其設(shè)計之復(fù)雜遠(yuǎn)超一般工業(yè)設(shè)備。目前EUV光刻機(jī)只有荷蘭ASML公司能夠生產(chǎn),Q3季度他們交付了7臺EUV光刻機(jī),但獲得了23臺EUV光刻機(jī)訂單,每臺價格超過1億歐元。
ASML公司今天發(fā)布了2019年Q3季度財報,當(dāng)季營收29.87億歐元,同比增長7.6%,運營利潤13.07億歐元,凈利潤6.27億歐元,與去年同期的6.8億歐元有所下滑,不過這主要是今年Q3季度的研發(fā)支出增加了25%。
今年Q3季度中,臺積電已經(jīng)開始量產(chǎn)EUV工藝,所以ASML公司的EUV交付及訂單也創(chuàng)了記錄,當(dāng)季交付了7臺EUV光刻機(jī),同時獲得了23臺EUV光刻機(jī)的訂單量,創(chuàng)造了歷史最高水平,算上其他光刻機(jī),ASML手握的訂單總額高達(dá)51億歐元。
ASML最新的EUV光刻機(jī)是NEX:3400C型號,已經(jīng)達(dá)到了量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn),Q3季度中交付的7臺EUV光刻機(jī)中有3臺是NEX:3400C,Q4季度中預(yù)計交付8臺EUV光刻機(jī),總價值高達(dá)9.5億歐元,平均每臺價格達(dá)到了1.2億歐元,折合人民幣9.4億元,堪稱人類最昂貴的設(shè)備了。
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