提高制備效率 需要更大“高壓鍋”制備芯片原材料

6 月 30 日，位于浙江省余姚市，由寧波江豐電子材料股份有限公司(以下簡稱江豐電子)與四川航空工業川西機器有限責任公司(以下簡稱川西機器)聯合研制的超大規格熱等靜壓設備投產。

這次投產的超大規格熱等靜壓設備實現了完全國產化，相關技術參數均達到國際先進水平。設備有效熱區工作高度 4.5 米，直徑 1.25 米，最高加熱溫度可達 1500℃，最大壓力可達 2000 個大氣壓，相當于 20000 米深海底的壓力，是制備高端液晶面板用大尺寸鉬合金靶材、粉末冶金材料及航空航天等關鍵材料必備的國之重器。設備投產后，將促進熱等靜壓技術在超高純靶材制備的應用，中國電子材料產業可望躋身國際設備領先水平，補齊我國在該領域的設備短板，為我國電子材料領域提供了新的設備保障能力。

據悉，高純濺射靶材是國家中長期發展規劃中明確重點發展的戰略性新興材料，廣泛應用于半導體芯片、平面顯示器、太陽能電池、信息存儲和光學應用等行業。據介紹，超高純材料的致密化是制備電子信息產業靶材的基礎。熱等靜壓設備可實現高純粉末冶金濺射靶材有效致密化、靶材基板異種金屬大面積擴散焊接，可對超高純原材料的制備提供消除缺陷、達到完美致密工藝要求的設備保障。

“不妨將靶材和熱等靜壓設備比作食材和高壓鍋，現有技術條件下，燒制時間變化不大。為提高制備效率，我們需要更大的‘高壓鍋’，無論制備超長規格的高純濺射靶材、還是小尺寸靶材，都能提高單位時間的產量。”寧波江豐熱等靜壓技術有限公司總經理曹歡歡介紹。

IT之家了解到，寧波江豐熱等靜壓技術有限公司專業從事各種新型高端材料的研發制造，如超高純難熔金屬靶材、特種陶瓷等，同時還可進行各種大型結構鑄件的高溫高壓致密化處理以及異種金屬間大面積擴散焊接處理，技術和產品廣泛應用于半導體、航空航天、能源、汽車、生物醫療等行業。(作者：遠洋)